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  • PEO6xx系列 多功能處理爐

概述
PEO6xx系列是一款既節能又節省占地空間的快速處理爐,它也是一款采用鉻鋁鈷耐熱鋼線加熱的熱壁爐。PEO6xx系列是用于研發、工藝獨特而復雜的產品開發、中低產量的生產。
應用范圍
LPCVD, CVD, 晶體外延附生, 多晶硅, 氮化硅, LTO, TEOS,
固體/液體/氣體 前體擴散, low k, HSQ, HMDS,
干法/濕法氧化, 高溫氧化, VECSEL,
MOCVD, Trans LC, 硅納米線, 植入后退火,
納米碳管, 石墨烯, 太陽能, batch ALD,
聚酰亞胺/BCB 固化, 晶圓焊球回流, 合金化處理, thick
film paste firing, LTCC 燒結, annealing under inert
大氣/氫氣/ 高真空,  碲//汞 PVD
產品特性
• 在室溫下無能源及氣體損耗 – ramp up –
processing – 降溫控制
• 最高溫度:1100°C, 極限真空 ~ 7 x 10-7 mbar
• 最大可支持100片晶圓

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