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  • Gen6

\Gen6TM
 

設備分類:實驗室、研發型

該設備先進的技術和人體工程學設計讓超聲顯微成像系統得以發揮出好的水平。
它廣泛的應用能勝任眾多的需求。不管是電容、倒裝芯片、疊層晶元、BGA、PCB...還是制程優化、研發、失效分析、軍工或小批量生產等,它都能滿足需求。先進的SONOSCAN技術如 VRMTM樣品虛擬建模脫機掃描模式、加速掃描、FDITM頻域成像模式等讓超聲顯微成像技術的優勢日趨明顯。
除了SONOSCAN各種先進功能外,該設備還為用戶開放了自定義空間,讓用戶使用起來更方便舒適,并幫助客戶能夠生產出高質量的產品。


特色功能:
 

  • 帶動態平衡塊和線性馬達驅動的掃描塔使得圖像采集更清晰

  • ESD操作臺面,完美人體工程學和防靜電設計

  • 簡易裝載臺可容納JEDEC托盤和300mm晶圓

  • 基于64位win 7操作系統,支持多國語言

  • 精確的掃描臺和樣品固定架

  • TurboSpeedTM加速掃描功能

  • PolyGate™ 功能,每個通道可設置多達100個Gate,能同時收集100層感興趣的區域數據,包括能量、色譜、波形等,并生成100張圖像

  • Multi-Gate™和Probing-Gate™功能允許單層或多層聚焦成像

  • SonoSimulatorTM 功能使薄層、多層樣品分析變得容易,例如堆疊芯片

  • 特有STaRTM 模式能同時獲得反射和透射兩種圖像

  • Quantitative B-Scan Analysis Mode (Q-BAM)™ 基于B-Scan提供切層的極性,幅值和深度數據

  • 可選Digital Image Analysis (DIA)™數字圖像分析自動計算出缺陷大小、數目、多少和分布

  • 可選Virtual Rescanning Mode (VRM)™ 樣品虛擬建模脫機掃描模式

  • 可選Waterfall™ 流水式探頭和在線溫度控制

  • 可選FDITM頻域成像模式

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