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  • Auto500GB

Auto500 GB 適合手套箱集成的真空鍍膜系統
 
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Auto500GB是專門設計用于手套箱集成使用的鍍膜設備,滿足氧氣或水汽敏感的材料鍍膜的應用要求。該系統配了一個特殊結構的真空腔室,可直接與市場上大多數手套箱集成到一起。真空腔室的前門可豎直滑動開關,嵌入手套箱內,并占用很少的手套箱空間;其后門是鉸鏈扇式開關,能在不影響手套箱內氣氛的情況下輕松維護腔室內工藝組件。
 
鍍膜源選項包括熱阻蒸發源、精密控溫的有機蒸發源、磁控濺射源以及電子束蒸發源。

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