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  • UEFC-4900/5700

UEFC-4900和UEFC-5700具有高均勻性及高材料利用率的大型生產設備
 
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Temescal精密鍍膜系統凝聚了60多年Temescal人的電子束蒸鍍經驗,運用了許多核心技術,具有業內高的性能。Temescal的科學家用了十幾年的時間致力于研究和理解蒸氣流量云的動力學。通過無數次測試及研究,Temescal收集了大量蒸氣云圖,并利用這些云圖實現蒸鍍均勻性修正的自動化設計。而如今應用了Auratus薄膜沉積優化方法論的UEFC系列電子束蒸鍍系統,正是代表了Temescal精密鍍膜技術的一個新高度!
 
這些UEFC系列電子束蒸鍍系統具有特有的圓錐形腔室設計,與傳統的箱式腔室相比,減少了無用的腔室空間及表面積,縮短了抽真空的時間,也緩解了腔室內的薄膜碎片積累問題,具有顯著的優勢;這些系統還配置了Temescal專有的高均勻性Lift-off基片載具(HULA),采用精密的雙軸運動,保障所有的晶圓在蒸氣云的高密度區和低密度區停留相同的時間,從而使各種工藝材料在系統內都能獲得優秀的沉積均勻性;這些系統繼承了Temescal著名的FC系列設備獨有的腔室隔離真空鎖設計,具有快的工藝周期、短的生產等待時間和高的工藝產出。

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應用了新技術的UEFC-5700和UEFC-4900,在150mm晶圓制造領域,具有超過業內其他品牌同類設備的產能效率,并且可以顯著減少貴重蒸鍍材料的消耗,為用戶獲得高達40%的材料成本節省!這些優勢都已被世界頂尖的IDM半導體制造公司以及專業代工廠所認可和證實。

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