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  • FC-3800/4400

FC-4400和FC-3800 面向Lift-off應用優化的、真空鎖結構的大型生產設備
 

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Temescal系統是為更高效率、高精準鍍膜產能而設計的生產型設備。這個指導原則支配著Temescal整個產品線的設計思想。由于更好的均勻性、精確度和可靠性,Temescal系統已經被全球領先的化合物半導體晶圓廠及代工廠使用了數十年。Temescal經典系列系統具有被制造商及科學家所信賴的傳統設計:優秀的特色性能、強大的生產能力和高均勻性。
 
FC-3800和FC-4400是適用于潔凈室的、真空鎖結構的系統,專門面向lift-off工藝的大生產應用。這些鍍膜機為連續高效的運行而設計,并提供高均勻性的薄膜沉積。FC-3800的源基間距為34”(965mm),而FC-4400的源基間距為42”(1067mm)。這兩款系統都可配置成獨立機臺或穿墻式潔凈室安裝,也都支持鍍膜源、材料進給、加熱、清洗等附件的各種組合。

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