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  • FC/BJD-2000

適合小批量生產和研發應用的Temescal BJD-2000和FC-2000

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BJD-2000和FC-2000系統是通用型蒸發鍍膜設備,通過選用不同的附件配置,適合大部分應用要求。除了高效運行和兼容潔凈室的特點,這些系統還具有更大的靈活性,以方便使用。其中FC-2000是一款具有快速工藝周期能力以及真空鎖結構的系統,可以在裝卸基片時讓電子束蒸發源保持在高真空狀態。而BJD-2000則沒有真空鎖結構。
 

雖然是Temescal產品家族系列中最小型的設備,但同樣具有Temescal先進的設計思想,也擁有與大型生產設備一樣的高穩定性、高可靠性以及易維護性的特點。為了滿足用戶對未來產能提升的要求,BJD-2000和FC-2000還可以在現場升級成更高產能的2800系列系統。

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