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  • 產品簡介
THERMCO擴散,退火,LPCVD工藝爐
英國Thermco Systems公司成立于1962年,是世界上著名的臥式擴散爐、氧化爐、退火爐、合金化爐及LPCVD爐的制造商,在全球各處的半導體制造廠里都有大量的安裝應用,迄今為止安裝記錄已超過20000管。 根據基片尺寸以及產量要求的不同,HTR系列可分為大批量生產型5100/5200系列(6英寸)、科研型2400系列(4英寸)/2600系列(6英寸)/2800系列(8英寸)等;可處理4"~10"的基片,每管處理能力分別可達25片、50片、100片及更多;根據配置不同的工藝氣源及溫度控制范圍,各型號的產品均可用于LPCVD、擴散及氧化等熱處理反應工藝。
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